Ионно-сорбционный насос
Определение "Ионно-сорбционный насос" в Большой Советской Энциклопедии
Ионно-сорбционный насос, вакуумный насос, в котором химически активные газы удаляются за счёт сорбции их геттерами, а инертные газы - в результате интенсивной ионизации в виде ионов под действием электрического поля. С помощью И.-с. н. достигают разрежения 10-7 н/м2 (10-9 мм рт. ст.).
Статья про "Ионно-сорбционный насос" в Большой Советской Энциклопедии была прочитана 347 раз
|